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濟(jì)南西格馬科技/ 發(fā)布于2022-10-21 瀏覽次數(shù)：2725
一、按敏感柵制造方法分類有三種
1、 體型半導(dǎo)體應(yīng)變計，用單晶硅或單晶鍺按一定晶軸方向切成撥片，經(jīng)過摻雜、拋光、光刻等制成。
2、 擴(kuò)散性半導(dǎo)體應(yīng)變計，利用固體擴(kuò)散技術(shù)將某種雜質(zhì)元素擴(kuò)散到半導(dǎo)體材料上，這樣制成擴(kuò)散型應(yīng)變計。
3、 薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變計，與金屬薄膜型應(yīng)變計類似，敏感柵也用真空蒸鍍、沉淀方法制成，它由硅、鍺等半導(dǎo)體材料形成導(dǎo)電薄膜，基底材料由金屬箔、玻璃或陶瓷薄片。
二、 按溫度補(bǔ)償類型分，半島體應(yīng)變計可分為靈敏系數(shù)補(bǔ)償型與熱輸出補(bǔ)償型，熱輸出補(bǔ)償
型又可分為單柵自補(bǔ)償、雙柵半橋自補(bǔ)償及熱敏元件補(bǔ)償型。
本文關(guān)鍵詞： 應(yīng)變片
